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     油增压泵
     机组
 ● 空间环境模拟装备及真空专用设备
 ● 低温产品
    
    JT系列磁控射镀膜机
  ※ 系列产品参数
型号项目
JT-500
JT-900
JT-1400
  真空室尺寸   mm
Φ500×520
Φ900×1400
Φ1400×1570
  极限压力    Pa
5×10-3
  工作压力    Pa
1.2×10-2
  恢复真空时间   min
15(从大气~10-3Pa)
20(从大气~10-3Pa)
  工件转动    rpm
10~15
公转、自转无级调速
  工作气体
Ar 纯度99.99%
  最大功率     KVA
10
30
55
  冷却水用量  t/h   
1
2
3
    
           
           
           
           
           
           
           
           
           
           
 
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